掃描電子顯微鏡的光學原理是什么？

從原理上講，掃描電子顯微鏡就是用非常精細的聚焦高能電子束掃描樣品，激發各種物理信息。通過接收、放大和顯示信息，可以觀察到測試樣品的表面形態。接下來小編將主要介紹一下掃描電子顯微鏡的光學原理。

當一束超細高能入射電子轟擊和掃描樣品表面時，激發區會產生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續光譜X射線、背散射電子、透射電子以及可見、紫外和紅外區域的電磁輻射。同時可以產生電子-空穴對、晶格振動(聲子)和電子振蕩(等離子體)。掃描電子顯微鏡通常至少有一個檢測器(通常是SEI)，其中許多配備了額外的檢測器，如EDS、BSE、WDS、EBSD、CL等。但特定儀器的特殊功能強烈依賴于合適的探測器，探測器的安裝角度，即樣品分析室的專業設計，對分析效果影響很大。為了獲得較高的掃描電子顯微鏡分析質量，我們應該對各種功能機制有深入的了解。

ZEM掃描電子顯微鏡

電子槍發射的電子束被幾個電磁透鏡還原后，電子束到達樣品并激發樣品中的二次電子。探測器接收二次電子，通過信號處理調制顯示器上的像素發光。由于電子束點的直徑為納米，顯示器的像素超過100微米，因此這個像素在100微米以上發出的光代表樣品上被電子束激發的區域發出的光。實現樣品上該物點的放大。如果在樣品的某個區域對電子束進行光柵掃描，并在時間和空間上對顯示器像素的亮度進行相應的調制，就可以實現該樣品區域微觀形貌的放大成像。

文章來源：麥迪森Madison