SEM掃描電鏡樣品在測(cè)試過程中應(yīng)該怎么辦

在掃描電鏡測(cè)試過程中，樣品需要被妥善處理和放置，以確保測(cè)試的準(zhǔn)確性和安全性。以下是對(duì)SEM掃描電鏡樣品在測(cè)試過程中應(yīng)注意的事項(xiàng)的詳細(xì)歸納：

一、樣品制備

樣品尺寸：根據(jù)掃描電鏡設(shè)備的要求，樣品需要被切割或處理成適當(dāng)?shù)某叽纭７垠w樣品僅需少量（如10mg），塊體樣品的長(zhǎng)寬應(yīng)小于1cm，厚度也應(yīng)控制在一定范圍內(nèi)（如小于1cm，但具體可調(diào)整）。液體樣品需要足夠的量（如不少于0.5ml），并且常規(guī)溶劑應(yīng)為水或乙醇。如果樣品使用不揮發(fā)或有毒溶劑，應(yīng)提前告知檢測(cè)單位。

樣品清潔：樣品表面應(yīng)清潔無污染，無灰塵和雜質(zhì)。這通常通過清洗步驟實(shí)現(xiàn)，如使用蒸餾水或去離子水清洗。

樣品干燥：樣品需要完全干燥，無水分或易揮發(fā)溶劑。干燥方法可以是自然干燥、加熱干燥或臨界點(diǎn)干燥等，具體取決于樣品的性質(zhì)。

導(dǎo)電處理：對(duì)于導(dǎo)電性不好的樣品（如半導(dǎo)體金屬氧化物、生物樣品、塑料、陶瓷等），建議進(jìn)行噴金處理，以提高導(dǎo)電性并避免電荷積聚。

二、樣品放置與調(diào)整

樣品固定：樣品應(yīng)牢固地固定在SEM掃描電鏡的樣品臺(tái)上，確保在測(cè)試過程中不會(huì)移動(dòng)或脫落。

樣品位置：如果只有一個(gè)待測(cè)樣品，可以直接在電腦上操作將樣品拖入中心區(qū)域。如果是多個(gè)樣品，則需要記住樣品所在位置的編號(hào)，并將對(duì)應(yīng)編號(hào)的樣品放入電子槍正下方。

樣品高度：調(diào)整樣品的高度，使其上表面達(dá)到距電子槍既定的或理想的距離（一般約為10mm）。

三、測(cè)試環(huán)境設(shè)置

抽真空：在測(cè)試前，掃描電鏡設(shè)備需要進(jìn)行抽真空處理，以確保電子束能夠穩(wěn)定地轟擊樣品。

加速電壓：根據(jù)樣品的成分和觀察需求，設(shè)定合適的加速電壓。

光斑直徑：根據(jù)需要觀察的細(xì)節(jié)，選擇合適的“光斑直徑”（粗、中或細(xì)）。

自適應(yīng)調(diào)整：勾選“自適應(yīng)”按鈕以自動(dòng)調(diào)整亮度和對(duì)比度。

四、測(cè)試操作

聚焦調(diào)整：先進(jìn)行粗調(diào)聚焦，獲得較為清晰的圖像。在放大倍數(shù)大于所需拍攝倍數(shù)時(shí)，使用“聚焦微調(diào)”功能進(jìn)行精細(xì)調(diào)整。

倍數(shù)調(diào)整：將倍數(shù)調(diào)整至所需拍攝倍數(shù)。

信號(hào)選擇：根據(jù)樣品特性和觀察需求選擇合適的信號(hào)（如二次電子、背散射電子等）。

圖像采集：選擇合適的采集幀數(shù)和平均點(diǎn)數(shù)后，進(jìn)行拍照。

五、注意事項(xiàng)

避免污染：在測(cè)試過程中，要避免樣品受到污染或損傷。

參數(shù)調(diào)整：根據(jù)樣品的不同特性，可能需要對(duì)SEM掃描電鏡的參數(shù)進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。

安全防護(hù)：操作人員應(yīng)遵守掃描電鏡設(shè)備的安全操作規(guī)程，確保人身安全和設(shè)備安全。

綜上所述，SEM掃描電鏡樣品在測(cè)試過程中需要經(jīng)過精心的制備、放置和調(diào)整，以及合理的測(cè)試環(huán)境設(shè)置和操作。這些步驟和注意事項(xiàng)共同確保了測(cè)試的準(zhǔn)確性和安全性。