SEM掃描電鏡制樣之如何制備片狀樣品

在掃描電鏡制樣過程中，制備片狀樣品需要遵循一系列步驟以確保樣品能夠適合SEM掃描電鏡的觀察和分析。以下是一個詳細的制備流程：

一、樣品選擇

根據研究目的和需要觀察的特征，選擇合適的片狀樣品。樣品應具有一定的導電性，以便進行電子束的引導和檢測。如果樣品本身導電性不佳，后續可能需要進行導電處理。

二、樣品固定

粘貼法：使用導電膠帶或導電膠水將片狀樣品粘貼在一個金屬或碳質的樣品臺上。這種方法適用于大多數片狀樣品，特別是那些底面較為平整的樣品。粘貼時應確保樣品與樣品臺之間有良好的接觸，以提高導電性和穩定性。

夾持法：如果樣品較大或形狀不規則，可以使用金屬或碳質的夾具將樣品夾持在樣品臺上。這種方法要求夾具能夠牢固地固定樣品，且不會遮擋電子束或檢測器的視野。

三、樣品清潔

樣品表面可能存在灰塵、油脂或其他污染物，這些污染物會影響掃描電鏡的觀察結果。因此，需要對樣品進行適當的清潔處理。可以使用有機溶劑（如無水乙醇、丙酮等）進行清洗，也可以使用超聲波清洗或等離子清洗等方法。

四、樣品干燥

濕樣品在SEM掃描電鏡觀察中會引起圖像模糊或失真，因此需要進行適當的干燥處理。對于片狀樣品，可以使用烘箱或熱風槍等設備進行烘干處理。需要注意的是，干燥過程中的溫度和時間應控制好，以避免樣品過熱或變形。

五、導電處理

如果樣品本身導電性不佳，需要進行導電處理以提高其導電性。常用的導電處理方法包括噴鍍金屬膜和化學氣相沉積法等。噴鍍金屬膜是將一層薄薄的金屬（如金、鉑等）噴涂在樣品表面，以提高其導電性和二次電子產額。化學氣相沉積法則是在樣品表面形成一層導電薄膜。

六、樣品檢查

在進行掃描電鏡觀察之前，應對制備好的片狀樣品進行檢查。檢查內容包括樣品的固定是否牢固、表面是否干凈無污染物、導電性是否良好等。如果發現問題，應及時進行處理。

七、注意事項

在制備片狀樣品時，應盡量避免對樣品造成機械損傷或化學腐蝕。

樣品尺寸應適合SEM掃描電鏡的樣品室要求，一般不超過10 cm x 10 cm x 5 cm。

樣品表面應盡可能平整，以便進行電子束的聚焦和掃描。

制備過程中應注意安全操作，避免使用有毒有害的化學品或產生有害的氣體。

通過以上步驟，可以制備出適合掃描電鏡觀察的片狀樣品。需要注意的是，不同的樣品和實驗條件可能需要不同的制樣方法，因此在實際操作中應根據具體情況進行調整。