SEM掃描電鏡無圖像故障的原因以及解決辦法介紹

掃描電鏡無圖像故障的原因及解決辦法可以歸納如下：

原因分析

電源控制系統故障：

表現為掃描電鏡停機后再開機無反應，SEM掃描電鏡各指示燈均不亮。

具體原因可能是電源控制部分出現故障，如保險絲燒壞、隔離變壓器損壞等。

高壓系統故障：

表現為燈絲無法開啟。

可能原因是高壓箱未識別，高壓箱上沒有電壓輸入。

光學系統問題：

掃描電鏡的光學系統包括電子透鏡和掃描線圈，如果其中任何一個部件出現問題，都可能導致無法顯示圖像。

探針電流問題：

SE2模式需要足夠的探針電流來產生圖像，如果探針電流不足，可能會導致無法顯示圖像。

檢測器問題：

SE2模式的檢測器通常是反射電子檢測器，如果檢測器出現問題，可能會導致無法顯示圖像。

信號處理問題：

SE2模式的信號需要通過放大器和信號處理電路來處理和顯示，如果這些電路出現問題，可能會導致無法顯示圖像。

儀器操作和環境因素：

如放入的樣品受潮或送樣桿污染引起樣品交換室發生稍微漏氣，導致抽真空速度很慢。

顯微鏡鏡頭可能出現問題，如鏡頭污染或損壞。

解決辦法

電源控制系統故障：

檢查保險絲并更換。

檢查隔離變壓器，如損壞則更換或接入220V交流轉24V直流的開關電源。

高壓系統故障：

檢查高壓箱的光纖和電源輸入部分。

更換或修理高壓箱供電的開關電源。

光學系統問題：

清潔或更換電子透鏡和掃描線圈。

探針電流問題：

檢查探針電流是否正確，并調整至適當值。

檢測器問題：

清潔或更換檢測器。

信號處理問題：

檢查放大器和信號處理電路，修理或更換損壞的部件。

儀器操作和環境因素：

取出樣品，用紅外燈烘烤，檢查抽真空速度。

清潔送樣桿，并涂上真空油脂。

檢查sem掃描電鏡鏡頭，如有污染或損壞則進行清潔或更換。

以上內容僅作為參考，具體故障分析和解決辦法需要根據實際情況進行，建議咨詢專業的技術人員或參考相關操作手冊。