關于掃描電鏡廠商圖像標尺信息的解讀及簡單修改

前 言

　　在長期的分析測試工作中，發現好多使用掃描電鏡圖像的學生對掃描電鏡標尺的理解不是很透徹，今天就針對掃描電鏡標尺在這里拋磚引玉，以供各位理解，歡迎各位斧正。

　　一、掃描電鏡SEM原理：

　　利用電子和物質的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。掃描電子顯微鏡正是根據上述不同信息產生的機理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實現。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關物質微觀形貌的信息;對x射線的采集(能譜EDS)，可得到物質化學成分的信息。

　　二、掃描電鏡SEM圖像中相關文字標注信息釋義：

　　一般來說，論文中只需要體現這3方面主要信息：加速電壓、放大倍數以及電鏡型號，其他的信息都可以忽略，作為一個了解即可。

　　三、不同廠商掃描電鏡設備拍照圖像標尺舉例：

　　首先我們來看下不同廠商的掃描形貌圖片：

　　1. 美國FEI廠商的掃描電鏡圖標尺舉例：

　　這4張圖片的標尺都定義為微米級別，而實際放大倍數有5萬倍，500倍，2萬倍

　　2. 日本電子掃描電鏡圖標尺舉例：
 

　　通過日本廠商的不同型號設備我們可以看出既有微米級放大5 萬倍的標尺，也有納米級放大8 萬倍的的標尺。

　　3. 德國蔡司掃描電鏡圖標尺舉例：

　　以上德國廠商的不同型號設備我們可以看出既有微米級放大5萬倍的標尺，也有納米級放大8萬倍的的標尺。

　　4. 捷克TESCAN掃描電鏡圖標尺舉例：

　　上圖中捷克TESCAN掃描電鏡圖像標尺既有1萬倍的微米級，也有10萬倍的納米級

　　通過以上的不同國家不同廠商的掃描電鏡圖片標尺我們橫向分析可以看出，不同的廠商在設備的標尺上數值設置不同，美國設備一般傾向于微米級別的標尺;而日本和捷克則是微米納米二者兼有，納米也是比較大的數值;而德國蔡司的設備更傾向于數值小的納米級別標尺數值，但是絲毫沒有影響對樣品的放大倍數。

　　因此，可以得出一個結論，標尺數值大小跟放大倍數沒有必然關系，具體數值大小和不同的廠商設置有關。

　　在實際使用標尺度量中，大標尺在形貌的度量過程中可能存在不方便使用的問題，因此，我們可以通過嘗試使用PS工具來對標尺做一個簡單的縮小處理,如下：

　　通過等比例的縮小標尺我們很快就能搞定度量工作。

　　以上就是對掃描電鏡中的標尺解讀，希望能幫到大家更深入的理解掃描電鏡中的標尺問題，同時也希望對標尺的深入理解幫助大家用好掃描電鏡，不要丟棄放大倍率的真實概念，而去追求所謂的標尺決定放大倍率錯誤觀念。祝大家用好掃描電鏡，多多發表SCI。