SEM掃描電鏡的操作規范介紹

掃描電鏡是用于觀測組織或材料表面形貌的重要工具。以下是SEM掃描電鏡的操作規范介紹：

一、準備階段

樣品準備：

確保樣品已完全干燥。

準備必要的耗材，如樣品臺、導電膠帶、鑷子、剪刀和手套。

使用導電膠帶將樣品固定在樣品臺上，并確保樣品牢固粘貼。操作過程中應佩戴手套，以防污染樣品。

噴金鍍膜：

由于生物組織等樣品不具備導電性，需進行噴金鍍膜處理，以增加形貌襯度。

噴金參數應根據實驗室的具體設備進行調整，需提前與負責老師或技術人員確認。

二、安裝樣品臺

打開電腦和軟件：

啟動電腦，雙擊掃描電鏡的軟件圖標以打開軟件。

連接SEM掃描電鏡：

根據軟件提示，點擊“確定”以連接掃描電鏡設備。

安裝樣品臺：

點擊右上角“快速換樣”，根據彈窗指示，點擊“確定”。此時樣品臺移動至規定位置。

點擊交換倉“抽氣”按鍵，開始交換倉抽真空操作，直至指示燈常亮，提示真空狀態已完成。

點擊交換倉“開/關傳輸門”按鍵，打開交換倉與樣品倉之間的隔板。

打開樣品桿鎖扣，向內推進樣品桿至底部，順時針轉動樣品桿旋鈕，鎖定樣品臺并向外拉出樣品桿，鎖上鎖扣。此時，樣品臺被樣品桿從樣品倉中取出至交換倉。

再次點擊交換倉“開/關傳輸門”按鍵，關閉交換倉與樣品倉之間的隔板。

點擊交換倉“放氣”按鍵，解除交換倉真空狀態，然后打開交換倉，放入樣品。

關上交換倉，依次執行“抽氣”、“開/關傳輸門”推進樣品桿操作。待樣品臺進入指定位置后，逆時針旋轉樣品桿旋鈕，拉出樣品桿，并關上隔板。

三、SEM掃描電鏡觀察

選擇樣品臺：

點擊軟件右上角“工作”按鈕，根據彈窗提示選擇已安裝的樣品臺。

開啟束流：

點擊軟件右上角“打開束流”按鈕，以開啟電子束流。

導航拍照：

點擊軟件左下角“導航拍照”按鈕，導入樣品導航界面。

設置工作高度和樣品高度：

根據樣品的高度和類型，在Z軸輸入窗口輸入相應的數值，以界定工作高度和樣品高度。

移動樣品位置：

在樣品導航界面用鼠標雙擊，以移動樣品位置。這通常用于定位不同的樣品。

在成像界面用鼠標雙擊，同樣可以移動樣品位置。這通常用于觀察同一樣品的不同位置。

圖像調節：

使用鼠標滾輪進行圖像的放大和縮小操作。

點擊工具欄的相應按鈕進行樣品預覽、亮度和對比度的調節。

在放大倍數較小時，可以點擊工具欄的按鈕進行自動聚焦和自動消像散。

在放大倍數較大時，采用手動聚焦。點擊工具欄的“慢掃”和“選區”功能，將選區框移動至居中位置。然后按住鼠標右鍵左右滑動，以確定焦點位置（*清晰時）。取消“選區”后，該焦點將應用于整個視野。

四、注意事項

電源穩定：

確保電源穩定，避免電壓波動過大，以保護掃描電鏡設備和樣品。

真空度要求：

在加高壓前，真空度B須達到額定值。氣體電離度大會損傷電子槍。

完成SEM掃描電鏡觀察后，應關閉高壓，并等待至少30秒以上，待燈絲冷卻后再進行放氣操作，以保護電子槍。

樣品臺移動限制：

樣品臺在平面方向和上下方向都有額定移動距離。當移動到極限位置時，設備會發出報警提示。此時，應立即停止移動并往回移。

在向上移動樣品臺時，應緩慢操作，以防止堅硬樣品撞擊上方的探測器和極靴，從而損壞設備。

電子束與樣品作用：

在掃描電鏡觀察過程中，電子束與樣品會發生相互作用，激發出多種信號。這些信號包括二次電子信號（用于形貌觀察）、背散射電子信號（用于區分微區成分）等。應根據觀察目的選擇合適的信號進行觀察和分析。

綜上所述，SEM掃描電鏡的操作規范涉及樣品準備、安裝樣品臺、掃描電鏡觀察和注意事項等多個方面。只有嚴格按照操作規范進行操作，才能確保SEM掃描電鏡設備的正常運行和觀察結果的準確性。