SEM掃描電鏡的類型有哪些

掃描電鏡的類型主要根據其電子槍的種類、分辨率、應用領域等特點進行分類。以下是一些主要的SEM掃描電鏡類型：

一、按電子槍種類分類

鎢燈絲掃描電鏡

特點：總發射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩定性較好。

應用：適合大量的常規檢測，如形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析等。在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫學等領域都有廣泛的用途。

場發射掃描電鏡

特點：高分辨率，分為冷場和熱場兩種。冷場發射掃描電鏡的發射面積較小、能量集中，便于將電子束聚焦于一個很小的點以提高分辨率；熱場發射掃描電鏡則通過采取各種有效措施，將電子束匯聚于一個理想的點，達到冷場發射電鏡的分辨率水平。

應用：適用于納米材料精細形貌的觀察，可產生高質量高分辨二次電子圖像。該儀器配備的X射線能譜儀可對塊狀樣品做定性及半定量分析，適用于物理、材料、半導體、超導體、化學高分子、地質礦物、生物、醫學等領域的微觀研究和分析。

二、按分辨率和應用領域分類

高分辨率掃描電鏡

特點：分辨率極高，能夠清晰呈現樣品的細微結構。

應用：適用于需要高分辨率成像的領域，如納米技術、材料科學等。

環境掃描電鏡

特點：采用多級真空壓差技術，在保持電子槍和鏡筒的高真空狀態下，樣品室內可以保持較高的氣壓及較高的濕度和壓力，而且溫度可調。

應用：解決了生物樣品失水變形問題，樣品無須干燥及鍍膜，能保持生物活體形態結構的真實性。既可以在高真空狀態下工作，又可以在低真空狀態下工作。適用于觀察新鮮活體生物樣品以及濕潤試樣。

其他專用掃描電鏡

根據特定應用領域的需求而設計的掃描電鏡，如用于半導體制造的芯片檢測掃描電鏡、用于地質學研究的礦物成分分析掃描電鏡等。

三、按功能分類

普通掃描電鏡

主要用于觀察樣品的形貌和微觀結構。

組合掃描電鏡

如SEM-EDS（掃描電鏡+能譜儀）組合設備，能夠同時實現樣品的形貌觀察和元素成分分析。

綜上所述，SEM掃描電鏡的類型多種多樣，每種類型都有其獨特的特點和應用領域。在選擇SEM掃描電鏡時，需要根據具體的研究需求和應用場景進行選擇。